眾所周知真空機(jī)組需要進(jìn)行一定的抽氣活動(dòng)才能在真空泵中形成氣壓差方便后續(xù)的運(yùn)輸作業(yè)活動(dòng)，而抽氣可以分為三個(gè)階段幫助真空機(jī)組可以更節(jié)省抽氣時(shí)間以便達(dá)到更好的效果。
　　首先這三個(gè)步驟分別是即精抽階段、輝光轟擊階段以及濺射沉積階段，小編為大家一一介紹它們各自的特點(diǎn)與形式：

　　精抽階段進(jìn)行抽氣的主要目的是可以減少真空機(jī)組室內(nèi)的排放量，并使主泵在精抽情況下可以達(dá)很好的抽氣壓差。方便后續(xù)的輝光轟擊階段，而這一個(gè)階段主要是利用增壓泵和渦輪分子達(dá)到上一個(gè)階段的效果，并采取節(jié)流犧牲抽速的方法是真空機(jī)組中的泵穩(wěn)定工作。濺射沉積階段在只有0.5帕的壓力下仍需要節(jié)流幫助堆積能夠穩(wěn)定。

　　以上的三個(gè)階段雖然看似復(fù)雜但只要整個(gè)真空機(jī)組的結(jié)構(gòu)質(zhì)量過(guò)關(guān)就可以完好的進(jìn)行這三個(gè)階段，減少機(jī)器的磨損和破壞。